First Sensor stellt kapazitive Silizium-Inertialsensoren vor

First Sensor stellt eine Generation kapazitiver Silizium-Inertialsensoren vor, die auf Anwendungen in der Bauwerksüberwachung zielen. Die Sensoren bieten die erforderliche Auflösung und geringe Rauschdichte, um Vibrationen oder Neigungsänderungen an Windkraftwerken, Brücken oder Hochhäusern zu erfassen und so Gefährdungen in der Statik oder Substanz frühzeitig auf die Spur zu kommen. Die Sensoren zur Messung von Neigung, Beschleunigung und Vibration bestehen aus einem nach patentiertem mikromechanischen Verfahren (HARMS, AIM) hergestellten Silizium-Sensorelement in Verbindung mit einer ASIC-Signalverarbeitung. Die Silizium-Inertialsensoren erreichen je nach Bandbreite Auflösungen von 10 µg bzw. 0,0005°. Neben Standardmodellen entwickelt der Hersteller auch mechanisch und elektrisch auf spezielle Kundenanwendungen angepasste Module. Zur Unterstützung von Projekten und Entwicklern stehen Evaluation-Kits für die einfache und schnelle Auswertung und Konfiguration der Sensoren zur Verfügung. ge

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