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Micro-Epsilon: Interferometer jetzt in der Multipeak-Ausführung

Mess- & Prüftechnik
Micro-Epsilon: Weißlicht-Interferometer jetzt auch in der Multipeak-Ausführung

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Mit den Multipeak-Abstandssystemen ist die gleichzeitige Messung von Abstand und Dicke möglich. Bild: Micro-Epsilon Messtechnik

Die Weißlicht-Interferometer von Micro-Epsilon eigenen sich sowohl zum Inline-Einsatz für die Maschinen-Integration als auch für Laboranwendungen. Sie messen Abstand sowie Dicke und erreichen dabei Nanometer-Genauigkeiten bei Auflösungen im Pikometerbereich. Mit der neuen Multipeak-Ausführung ist nun auch die Erfassung mehrerer transparenter Schichten in nur einem Messvorgang möglich. Zwei Controller-Modelle stehen zur Multipeak-Abstandsmessung (IMS5x00-DS/MP) oder Mehrschicht-Dickenmessung (IMS5400-TH/MP) zur Verfügung. Die beiden Systemvarianten unterscheiden sich dahingehend, dass die Schichtdicken bei den Abstandssystemen aus den jeweiligen Abstandswerten berechnet und beim Dickensystem direkt gemessen werden. Je nach Applikation profitiert der Anwender dadurch von unterschiedlichen Vorteilen.

Systeme zur Multipeak-Abstandsmessung werden insbesondere bei Ausrichtungs- und Positionieraufgaben eingesetzt, bei denen ein Abstand gemessen und gleichzeitig eine Dicke bestimmt werden soll. In einem großen Messbereich von 2,1 mm lassen sich bis zu 13 Schichten mit minimalen Dicken bis zu 10 µm (BK7) erfassen.

In Relation zur Genauigkeit erfolgt die Messung dabei aus großem Abstand von rund 19 mm. Dank der absoluten Messung muss das System auch nach einer Signalunterbrechung beispielsweise bei Stufen oder Kanten nicht referenziert werden.

Abstandsschwankungen werden kompensiert

Systeme zur Mehrschicht-Dickenmessung kommen stets dann zum Einsatz, wenn abstandsunabhängige Dickenwerte für bis zu 5 Schichten gefordert sind. Im Dickenmessbereich von 2,1 mm werden Einzelschichten bis zu 35 µm (BK7) prozessstabil gemessen. Abstandsschwankungen des Messobjekts kompensiert der große Arbeitsbereich, sodass Vibrationen oder andere Materialbewegungen keinen Einfluss auf die Messung nehmen. Ein weiterer Vorteil der Dickensysteme liegt im großen Grundabstand: Die Messungen erfolgen aus bis zu 70 mm Entfernung zum Messobjekt, was Prozesssicherheit bietet und vor Beschädigungen des Sensors schützt.

Intuitives Webinterface ermöglicht eine einfache Systemkonfiguration

Bei allen Systemen steht ein modernes und intuitives Webinterface für die einfache Systemkonfiguration zur Verfügung. Zudem bieten die vielen Schnittstellen (EtherCAT, Ethernet, Profinet, EtherNet/IP, RS422, Analog) zahlreiche Integrationsmöglichkeiten. Für den industriellen Einsatz sind die Interferometer-Sensoren mit hoher Schutzart IP65 ausgestattet. Vakuumtaugliche Systeme sind optional ebenfalls erhältlich. (kf)

Kontakt:
Micro-Epsilon Messtechnik GmbH & Co. KG
Königbacher Str. 15
94496 Ortenburg
Tel.: +49 8542 168-0
Mail: info@micro-epsilon.de
Website: www.micro-epsilon.de



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