Polytec: Optische Sensoren

Für Oberflächenprofil und Schichtdicke

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Die Punktsensoren der TMS-TopSens- und TMS-TopLine-Serie erlauben die schnelle und wirtschaftliche Charakterisierung von Oberflächen, die Bestimmung der Mikro/Nanotopographie sowie optische Rauheitsbestimmungen und die Dickenmessung von transparenten Proben. Die Messköpfe enthalten keine beweglichen Teile und sind daher robust und wartungsfrei. TopSens-Sensorsysteme messen auf jeder Oberfläche und jedem Material, sei es reflektierend, poliert oder rau, opak oder transparent. Mit ihrer hohen Messrate und dem Schnittstellenkonzept lassen sie sich einfach in den Fertigungsprozess oder eine vorhandene Prüfstation einbinden. Kombiniert mit 3D-Scannern ermöglichen die Punktsensoren 2D- und 3D-Messungen an komplexen Strukturen mit Submikron-Genauigkeit. Die Sensoren erfüllen die Norm ISO 25178 und können Rauheiten bis zu wenigen Nanometern messen. Die Sensorsysteme sind modular aufgebaut und bestehen aus einem optischen Sensorstift, einem Controller, einem Multimode-Glasfaserkabel und einem Kabel zur Anbindung über USB oder RS232 sowie Software.

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